标准号YS/T 1060-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
标准号：YS/T 1060-2015
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
刘新军、刘英杰、郑华荣等
中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。