标准号T/CNIA 0061-2020状态
发布时间：2020-05-27
实施时间：2020-08-01
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准号：T/CNIA 0061-2020
标准名称：硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
团体名称：中国有色金属工业协会
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
严大洲、万烨、赵雄、楚东旭、刘凤华、蔡延国、邱艳梅、赵娟龙
洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的测定。各元素测定下限为0.01ng/g。