标准号YS/T 1164-2016状态
发布于：2016-07-11
实施于：2017-01-01
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
标准号：YS/T 1164-2016
中国标准分类号：Q35
国际标准分类号：81.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。