标准号YS/T 1290-2018状态
发布于：2018-10-22
实施于：2019-04-01
多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
标准号：YS/T 1290-2018
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。
发布于：2018-10-22
实施于：2019-04-01
标准号：YS/T 1290-2018
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。
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