标准号DB53/T 618-2014状态
发布于：2014-08-28
实施于：2014-12-01
状态：现行
气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
标准号：DB53/T 618-2014
中国标准分类号：G10
国际标准分类号：71.040.40
批准发布部门：云南省质量技术监督局
行业分类：制造业
张云晖、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵建为、杨红燕、于晓艳、左世芳、陶明、赵祖乔。
昆明冶研新材料股份有限公司
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.