标准号GB/T 32816-2016状态
发布于：2016-08-29
实施于：2017-03-01
硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范基本信息
标准号：GB/T 32816-2016
中国标准分类号：L55
国际标准分类号： 31.200 31 电子学 31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。