标准号GB/T 32280-2015状态
发布于：2015-12-10
实施于：2017-01-01
硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法基本信息
标准号：GB/T 32280-2015
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金 77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。