标准号GB/T 6620-1995状态
发布于：1995-04-18
实施于：1995-12-01
标准状态：被代替
硅片翘曲度非接触式测试方法基本信息
标准号：GB/T 6620-1995
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类号：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片翘曲度非接触式测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。