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MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 (GB/T 42191-2023)

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MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 (GB/T 42191-2023)

标准号GB/T 42191-2023状态

发布于:2023-05-23

实施于:2023-09-01

MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法基本信息

标准号:GB/T 42191-2023

标准类别:方法

中国标准分类号:L59

国际标准分类号: 31.080.99 31 电子学,31.080 半导体分立器件,31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、昆山传感器测控技术有限公司。

主要起草人 张威 、顾枫 、李根梓 、陈广忠 、李宋 、张亚婷 、张良 、陈立国 、林瑞梅 、李树成 、茅曙 、张宾 、王鹏 、李晓波 、许宙 、王玮冰 、陈路 、高峰 、明志茂 、曹万 、陈君杰 、王冰 。

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