标准号GB/T 15861-2012状态
发布于：2012-11-05
实施于：2013-02-15
离子束蚀刻机通用规范基本信息
标准号：GB/T 15861-2012
全部代替标准：GB/T 15861-1995
中国标准分类号：L97
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
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