标准号GB/T 15861-1995状态
发布于：1995-12-22
实施于：1996-08-01
标准状态：被代替
离子束蚀刻机通用技术条件基本信息
标准号：GB/T 15861-1995
被代替日期：2013-02-15
中国标准分类号：L97
国际标准分类号： 31.200 31 电子学 31.200 集成电路、微电子学
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。