标准号GB/T 9506.6-1988状态
发布于：1988-06-25
实施于：1988-12-01
标准状态：被代替
掺氮吸气剂钡膜分布测试方法基本信息
标准号：GB/T 9506.6-1988
被代替日期：2011-05-01
中国标准分类号：L32
国际标准分类号： 31-030 31 电子学 31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。