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掺氮吸气剂含氮量测试方法 (GB/T 6625-1986)

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掺氮吸气剂含氮量测试方法 (GB/T 6625-1986)

标准号GB/T 6625-1986状态

发布于:1986-07-25

实施于:1987-07-01

标准状态:被代替

掺氮吸气剂含氮量测试方法基本信息

标准号:GB/T 6625-1986

被代替日期:2011-05-01

中国标准分类号:L32

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《掺氮吸气剂含氮量测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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