标准号GB/T 19444-2004状态
发布于：2004-02-05
实施于：2004-07-01
硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法基本信息
标准号：GB/T 19444-2004
中国标准分类号：H26
国际标准分类号： 29.040 29 电气工程 29.040 绝缘流体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。