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掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 (GB/T 16879-1997)

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掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 (GB/T 16879-1997)

标准号GB/T 16879-1997状态

发布于:1997-06-20

实施于:1998-03-01

掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则基本信息

标准号:GB/T 16879-1997

中国标准分类号:L97

国际标准分类号: 31.020     31 电子学 31.020 电子元器件综合

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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