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半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 (GB/T 4298-1984)

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半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 (GB/T 4298-1984)

标准号GB/T 4298-1984状态

发布于:1984-03-28

实施于:1985-03-01

标准状态:废止

半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法基本信息

标准号:GB/T 4298-1984

废止日期:2017-12-15

中国标准分类号:H17

归口单位:中国有色金属工业协会

执行单位:中国有色金属工业协会

主管部门:中国有色金属工业协会

国家标准《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610(中国有色金属工业协会)归口上报及执行,主管部门为中国有色金属工业协会。

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