标准号GB/T 12964-2003状态
发布于：2003-06-16
实施于：2004-01-01
标准状态：被代替
硅单晶抛光片基本信息
标准号：GB/T 12964-2003
被代替日期：2019-06-02
全部代替标准：GB/T 12964-1996
中国标准分类号：H82
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程 29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。