标准号GB/T 14142-1993状态
发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
标准状态：被代替
硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法基本信息
标准号：GB/T 14142-1993
被代替日期：2018-04-01
中国标准分类号：H26
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。