标准号DB35/T 1146-2011状态
发布于：2011-04-10
实施于：2011-07-10
状态：现行
硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
标准号：DB35/T 1146-2011
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：福建省质量技术监督局
行业分类：科学研究和技术服务业
黄丰，吕佩文，陈伦泰，王永好，林璋，黄瑾
中国科学院福建物质结构研究所
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定