标准号DB53/T 501-2013状态
发布于：2013-08-01
实施于：2013-10-01
状态：废止
多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
标准号：DB53/T 501-2013
中国标准分类号：G10
国际标准分类号：71.040.40
批准发布部门：云南省质量技术监督局
行业分类：制造业
赵建为、张云晖、于艳敏、金波、亢若谷、马启坤、杨晓静、田琦、李晓华、韩小月
昆明冶研新材料股份有限公司
本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。