标准号DB53/T 500-2013状态
发布于：2013-08-01
实施于：2013-10-01
状态：废止
多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
标准号：DB53/T 500-2013
中国标准分类号：G10
国际标准分类号：71.040.40
批准发布部门：云南省质量技术监督局
行业分类：制造业
赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕
昆明冶研新材料股份有限公司
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。