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微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列微机电耦合动力学许立忠，孙丽波 (2015版)

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微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列微机电耦合动力学许立忠，孙丽波著 (2015版)

微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列微机电耦合动力学许立忠，孙丽波著 (2015版)(配图)

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