1、运行期间：应做好检查周期计划，定期检查反渗透膜以及滤芯耗材以及EDI模块是否有污染情况，以及对产水水质进行化验分析，根据实际情况进行保养。
2、停运期间：超纯水设备在停运期间，应定期的对反渗透膜进行低压清洗，特别是在夏天的时候，应该做到每班进行一次冲洗。
性能下降保养：
1、与设备的初始系统性能做对比，如果发现系统产水量下降10或产水的含盐量有明显上升迹象以及压差增加15时，就需要对超纯水设备进行有效的清洗了。
2、当超纯水设备发生高低压报警时，首先应检查保安过滤器至高压泵这间的手动阀开度是否太小，然后检查反渗透的进水调节阀及浓排阀是否正常，再按高低压报警复位按钮，重新启动设备。
3、发现超纯水设备污堵以及配件耗材很快失效，出水水质严重下降则需要查看原水水质是否有变化。如果有变化应适当整改工艺流程。
超纯水设备需要进行保养，但也要按照设备的保养周期正确的进行保养，使保养达到想要的效果。