标准号T/ZZB 0648—2018状态
发布时间：2018年10月19日
实施时间：2018年11月01日
200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片基本信息
标准号：T/ZZB 0648—2018
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了200mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
中国标准分类号：C397 电子器件制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片