标准号T/ZZB 0639—2018状态
发布时间：2018年10月19日
实施时间：2018年11月01日
氧化锌铝磁控溅射靶材基本信息
标准号：T/ZZB 0639—2018
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。
中国标准分类号：C305 玻璃制品制造
国际标准分类号：81.060.30 高级陶瓷
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：高级陶瓷
标准名称：氧化锌铝磁控溅射靶材