标准号T/STIC 110096-2024状态
发布日期：2024年01月01日
实施日期：2024年01月01日
半导体用多级罗茨干式真空泵基本信息
标准编号：T/STIC 110096—2024
英文标题：Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor
国际标准分类号：23.160
中国标准分类号：J 78
国民经济分类：C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造
起草人：付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅。
起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。
内容概括：本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用多级罗茨……