标准号T/GVS 015-2024状态
发布日期：2024年10月10日
实施日期：2024年10月10日
远程等离子体源的解离率测试方法基本信息
标准编号：T/GVS 015—2024
英文标题：Test method for dissociation rate of remote plasma source
国际标准分类号：71.040.99有关分析化学的其他标准
中国标准分类号：N 51
国民经济分类：M745 质检技术服务
起草人：胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红。
起草单位：季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司。
范围：本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。
内容概括：规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。……