标准号T/CCGA 90004-2023状态
发布日期：2023年12月18日
实施日期：2024年01月18日
泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法基本信息
标准编号：T/CCGA 90004—2023
英文标题：Protocol for measuring destruction or removal efficiency (DRE) of point-of-use abatement equipment in pan-semiconductor
国际标准分类号：13.020.40污染、污染控制和保护
中国标准分类号：E 25
国民经济分类：C397 电子器件制造
起草人：朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉
起草单位：埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会
范围：本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。
内容概括：本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。……