标准号T/QGCML 4573-2024状态
发布日期：2024年08月12日
实施日期：2024年08月27日
高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范基本信息
标准编号：T/QGCML 4573—2024
国际标准分类号：31.020
国民经济分类：C397 电子器件制造
起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。
起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。
内容概括：本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度……