标准号T/QGCML 4572-2024状态
发布日期：2024年08月12日
实施日期：2024年08月27日
高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范基本信息
标准编号：T/QGCML 4572—2024
国际标准分类号：31.020
国民经济分类：C397 电子器件制造
起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。
起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司。
内容概括：本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称……