标准号T/CSEA 26-2023状态
发布日期：2023年02月07日
实施日期：2023年03月01日
电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件基本信息
标准编号：T/CSEA 26—2023
英文标题：Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition
国际标准分类号：25.220.01表面处理和镀涂综合
国民经济分类：C336 金属表面处理及热处理加工
起草人：何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽。
起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。
范围：本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
内容概括：表1 8YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt.%主成分含量 杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2) HfO2 Y2O3 Al2O3 Fe2O3 SiO2 ……