标准号T/CNIA 0064-2020状态
发布时间：2020-05-27
实施时间：2020-08-01
多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准号：T/CNIA 0064-2020
标准名称：多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
团体名称：中国有色金属工业协会
中国标准分类号：W59
国际标准分类号：77.040.01
王体虎、宗冰、蔡延国、魏东亮、田润朝、曹岩德、刘凤华、顾小祥、王桃霞、杨晓青、刘国霞、董燕军、刘红、陈英、王海礼、拜黎洁、张海燕、安军林
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本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定，测定范围为0.10ug/g-10.00μg/g。