标准号T/CSTM 00313-2021状态
发布时间：2021-10-18
实施时间：2022-01-18
基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
标准号：T/CSTM 00313-2021
标准名称：基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
团体名称：中关村材料试验技术联盟
中国标准分类号：N35
国际标准分类号：17.180.01
马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安
西南技术物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所
本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。
本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。