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真空表面处理工艺用离子源 (T/GVS 003-2021)

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真空表面处理工艺用离子源 (T/GVS 003-2021)

标准号T/GVS 003—2021状态

发布时间:2021年06月28日

实施时间:2021年06月28日

真空表面处理工艺用离子源基本信息

标准号:T/GVS 003—2021

团体名称:中国标准化协会

主要技术内容:规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源(以下简称离子源)。

中国标准分类号:C344 泵、阀门、压缩机及类似机械制造

国际标准分类号:23.160

发证机关:中华人民共和国民政部

行业分类:

标准名称:真空表面处理工艺用离子源

本文件规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源(以下简称离子源)。

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