标准号T/SZMES 3—2021状态
发布时间：2021年05月28日
实施时间：2021年06月01日
薄膜应力测定 基片弯曲法基本信息
标准号：T/SZMES 3—2021
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲率半径和基片（镀膜面）曲率半径，利用斯东尼（Stoney)公式，计算得出薄膜应力。
中国标准分类号：C336 金属表面处理及热处理加工
国际标准分类号：25.220.01 表面处理和镀涂综合
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：表面处理和镀涂综合
标准名称：薄膜应力测定 基片弯曲法
本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。