标准号T/ICMTIA 4.2—2020状态
发布时间：2020年12月31日
实施时间：2021年03月01日
集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类基本信息
标准号：T/ICMTIA 4.2—2020
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。