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集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类 (T/ICMTIA 4.1-2020)

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集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类 (T/ICMTIA 4.1-2020)

标准号T/ICMTIA 4.1—2020状态

发布时间:2020年12月31日

实施时间:2021年03月01日

集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类基本信息

标准号:T/ICMTIA 4.1—2020

团体名称:中国标准化协会

主要技术内容:本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第1部分液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。

中国标准分类号:C266 专用化学产品制造

国际标准分类号:29.045

发证机关:中华人民共和国民政部

行业分类:

标准名称:集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类

本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。

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