标准号T/ICMTIA 4.1—2020状态
发布时间:2020年12月31日
实施时间:2021年03月01日
集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类基本信息
标准号:T/ICMTIA 4.1—2020
团体名称:中国标准化协会
主要技术内容:本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第1部分液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。
中国标准分类号:C266 专用化学产品制造
国际标准分类号:29.045
发证机关:中华人民共和国民政部
行业分类:
标准名称:集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分:液体甲基丙烯酸酯类
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。