标准号SJ 21497-2018状态
发布于：2018-12-29
实施于：2019-03-01
声表面波器件光刻工艺技术要求基本信息
标准号：SJ 21497-2018
标准名称：声表面波器件光刻工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for lithography process of surface acoustic wave device
发布部门：科技工业局
发布于：2018-12-29
实施于：2019-03-01
标准号：SJ 21497-2018
标准名称：声表面波器件光刻工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for lithography process of surface acoustic wave device
发布部门：科技工业局
声明：资源收集自网络或用户分享，仅供学习参考，使用请以正式版为准；如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误