标准号SJ 21199-2016状态
发布于：2016-12-14
实施于：2017-03-01
卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法基本信息
标准号：SJ 21199-2016
标准名称：卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法
英文名称：Technological verification procedures for horizontal plasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：科技工业局