标准号SJ 21128-2016状态
发布于：2016-01-19
实施于：2016-03-01
卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范基本信息
标准号：SJ 21128-2016
标准名称：卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
英文名称：General specification for horizontalplasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：科技工业局
发布于：2016-01-19
实施于：2016-03-01
标准号：SJ 21128-2016
标准名称：卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
英文名称：General specification for horizontalplasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：科技工业局
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