标准号SJ/T 11181-1998状态
发布于:1998-03-11
实施于:1998-05-01
净化涂胶台通用规范
标准号:SJ/T 11181-1998
中国标准分类号:L97
国际标准分类号:31.020
批准发布部门:电子工业部
行业分类:无
本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。
发布于:1998-03-11
实施于:1998-05-01
标准号:SJ/T 11181-1998
中国标准分类号:L97
国际标准分类号:31.020
批准发布部门:电子工业部
行业分类:无
本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。
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