发布于：1991-11-12
实施于：1992-01-01
标准号：SJ/T 10274-1991
中国标准分类号：N38
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
声明：资源收集自网络或用户分享，仅供学习参考，使用请以正式版为准；如侵犯您的权益，请联系我们处理。
