发布于：1994-08-08
实施于：1994-12-01
标准号：SJ/T 10584-1994
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：None
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。
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