标准号JB/T 12067-2014状态
发布于：2014-07-14
实施于：2014-11-01
TDL-GX硅芯生长炉
标准号：JB/T 12067-2014
中国标准分类号：K61
国际标准分类号：25.180.10
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
陈巨才、朱琳
西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。 本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。