标准号YS/T 644-2007状态
发布于：2007-04-13
实施于：2007-10-01
铂钌合金薄膜测定方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量
标准号：YS/T 644-2007
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.120.99
批准发布部门：国家发展和改革委员会
行业分类：无
杨滨、李旸
昆明贵金属研究所
本标准规定了铂钌（Pt-Ru）合金薄膜材料中合金态钌含量（质量分数）的测定方法。 本标准适用于铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌质量分数的测定，也可适用于各种铂合金薄膜材料中合金态铂质量分数及其他合金态金属质量分数的测定。测定范围：合金态铂质量分数不小于3%，合金态钌质量分数不小于3%。 本标准不适用于单层厚度不大于10nm的层状薄膜。