标准号JB/T 10439-2004状态
发布于：2004-03-12
实施于：2004-08-01
单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
标准号：JB/T 10439-2004
中国标准分类号：K61
国际标准分类号：25.180.10
批准发布部门：国家发展和改革委员会
行业分类：无
陈巨才
西安理工大学晶体生长设备研究所
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。