发布于：1991-08-27
实施于：1992-07-01
标准号：JB/T 5633-1991
中国标准分类号：J01
国际标准分类号：21-010
批准发布部门：机械电子工业部
行业分类：无
本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。
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