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单晶炉能耗分等 (JB/T 5633-1991)

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单晶炉能耗分等 (JB/T 5633-1991)

标准号JB/T 5633-1991状态

发布于:1991-08-27

实施于:1992-07-01

单晶炉能耗分等

标准号:JB/T 5633-1991

中国标准分类号:J01

国际标准分类号:21-010

批准发布部门:机械电子工业部

行业分类:无

本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。

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