标准号JB/T 8945-2010状态
发布于：2010-02-21
实施于：2010-07-01
真空溅射镀膜设备
标准号：JB/T 8945-2010
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
蔡东锋、张远青 等
广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
发布于：2010-02-21
实施于：2010-07-01
标准号：JB/T 8945-2010
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
蔡东锋、张远青 等
广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
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