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高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量 (YS/T 34.1-2011)

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高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量 (YS/T 34.1-2011)

标准号YS/T 34.1-2011状态

发布于:2011-12-20

实施于:2012-07-01

高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

标准号:YS/T 34.1-2011

中国标准分类号:H17

国际标准分类号:77.040.30

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

程高明、邹同贵 等

峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司

本标准规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法,采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。本标准适用于99.999%~99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围 1×10-7% ~1000×10-7%。

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