标准号JC/T 181-2011状态
发布于：2011-12-20
实施于：2012-07-01
半导体用透明石英玻璃器件
标准号：JC/T 181-2011
中国标准分类号：Q35
国际标准分类号：81.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
吴洁、杨小会 等
中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。